變換紅外光譜分析儀描述： 是以傅利葉變換紅外為基礎的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導體生產工藝控制和監控，氣體純度和組成分析，環境有毒有害氣體監視和工業尾氣監視。